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申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所
摘要：本公开提供一种成像光学系统及成像检测系统，成像光学系统由物方开始依次包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第一透镜组、孔径光阑、第二透镜组、第三透镜组、第十透镜、第十一透镜、玻璃补偿板和第四耦合棱镜；其中：第一透镜用于校正轴外场曲，第二透镜和第三透镜用于校正彗差和场曲；第一透镜组用于校正色差及平衡剩余球差，第二透镜组和第三透镜组用于校正色差；孔径光阑用于限制成像光束的大小；第十透镜用于平衡和校正场曲以及拉长后工作距，第十一透镜用于平衡和校正场曲、拉长后工作距以及会聚光路；玻璃补偿板用于补偿更换不同材料的待测物体的光程；第四耦合棱镜用于进行光路的分光耦合，向待测物体表面引入照明光。
主权项：1.一种成像光学系统，其特征在于，由物方开始依次包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第一透镜组、孔径光阑、第二透镜组、第三透镜组、第十透镜、第十一透镜、玻璃补偿板和第四耦合棱镜；其中：所述第一透镜用于校正轴外场曲，所述第二透镜和所述第三透镜用于校正彗差和场曲；所述第一透镜和所述第二透镜具有正光焦度，所述第三透镜具有负光焦度；所述第一透镜组用于校正色差及平衡剩余球差，所述第二透镜组和第三透镜组用于校正色差；所述第一透镜组和所述第二透镜组具有负光焦度，所述第三透镜组具有正光焦度；所述孔径光阑用于限制成像光束的大小；所述第十透镜用于平衡和校正场曲以及拉长后工作距，所述第十一透镜用于平衡和校正场曲、拉长后工作距以及会聚光路；所述第十透镜和所述第十一透镜具有正光焦度；所述玻璃补偿板用于补偿更换不同材料的待测物体的光程；所述第四耦合棱镜用于进行光路的分光耦合，向待测物体表面引入照明光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院光电技术研究所 成像光学系统和成像检测系统
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