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申请/专利权人：北京智芯微电子科技有限公司;国网浙江省电力有限公司电力科学研究院;国家电网有限公司

摘要：本发明提供一种静电卡盘加热控制装置及静电卡盘，涉及半导体技术领域。控制装置包括：控制模块、脉冲宽度调制信号输出模块和脉冲宽度调制隔离驱动模块，脉冲宽度调制信号输出模块包括：信号转化模块，用于确定计数中数和计数周期；寄存器组，第1至n个寄存器与n个加热单元对应，用于存储计数中数，第n+1个寄存器用于存储计数周期；根据计数周期循环计数的计数器；n个比较器，在每一计数周期根据当前计数与计数中数的比较结果生成脉冲宽度调制信号。脉冲宽度调制隔离驱动模块用于发出脉冲宽度调制信号。通过本发明提供的装置，能够单独控制加热单元，保证静电卡盘加热均匀性，实现晶圆整体均热性，提高半导体制造工艺良率。

主权项：1.一种静电卡盘加热控制装置，其特征在于，所述静电卡盘加热控制装置包括：依次连通的控制模块、脉冲宽度调制信号输出模块和脉冲宽度调制隔离驱动模块；所述控制模块用于输出与静电卡盘的n个加热单元对应的n个脉冲宽度调制信号控制指令；其中，所述脉冲宽度调制信号控制指令包括：占空比控制指令和周期控制指令，n为大于等于1的整数；所述脉冲宽度调制信号输出模块包括：信号转化模块，用于根据占空比控制指令确定计数中数，根据周期控制指令确定计数周期，计数中数为计数周期内的中间计数；寄存器组，所述寄存器组包括n+1个寄存器，第1至n个寄存器与n个加热单元对应，用于存储对应的加热单元的计数中数，第n+1个寄存器用于存储n个加热单元的计数周期；计数器，与第n+1个寄存器连通，用于根据计数周期循环计数；与n个加热单元对应的n个比较器，每一比较器分别与所述计数器和对应的加热单元所对应的寄存器连通，用于调用对应的寄存器的计数中数和计数器的当前计数，在每一计数周期内比较当前计数与计数中数的大小，根据比较结果生成对应的电平信号，继而生成用于控制对应加热单元的加热功率的脉冲宽度调制信号；所述脉冲宽度调制隔离驱动模块用于发出所述脉冲宽度调制信号；抗干扰模块，用于去除静电卡盘的高压干扰信号；所述抗干扰模块包括：同步电容和与n路驱动电路对应的n路抗干扰电路；其中，同步电容设置在相邻两个抗干扰电路之间，用于同步n路抗干扰电路的高压干扰信号的相位和幅度；每一抗干扰电路包括：输入端、输出端、接地端、射频扼流圈和接地滤波电容；抗干扰电路的输入端接入对应的驱动电路，抗干扰电路的输出端接入对应的驱动电路所对应的加热单元，射频扼流圈设置在该路抗干扰电路的输入端与输出端之间，接地滤波电容设置在该路抗干扰电路的接地端与输入端之间。

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