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申请/专利权人：无锡奥特维科技股份有限公司

摘要：本发明提供了一种硅片循环收料系统及收料方法，包括硅片输送机构、收料输送机构及回流输送机构，其中：硅片输送机构的输送路径上设置有若干硅片收片工位，硅片输送机构被配置为将硅片输送至位于硅片收片工位处的料盒内；收满硅片的满料盒从硅片收片工位处被换向至收料输送机构上，收料输送机构被配置为将满料盒输送至位于收料输送机构的出料端的收料工位处；收料工位处的被搬空的空料盒被换向至位于回流输送机构的进料端的回流工位处，回流输送机构被配置为将位于回流工位处的空料盒朝向硅片收片工位输送以使得空料盒回流至硅片收片工位处。本发明实现了对硅片的自动收料，并实现了料盒在收片工位和收料工位之间的循环回流，提升了收料效率。

主权项：1.一种硅片循环收料系统，其特征在于，所述硅片循环收料系统包括硅片输送机构、收料输送机构及回流输送机构，其中：所述硅片输送机构的输送路径上设置有若干硅片收片工位，所述硅片输送机构被配置为将硅片输送至位于所述硅片收片工位处的料盒内；所述收料输送机构位于所述硅片输送机构的第一侧，收满硅片的满料盒从所述硅片收片工位处被换向至所述收料输送机构上，所述收料输送机构被配置为将所述满料盒输送至位于所述收料输送机构的出料端的收料工位处；所述回流输送机构位于所述硅片输送机构的第二侧，所述收料工位处的被搬空的空料盒被换向至位于所述回流输送机构的进料端的回流工位处，所述回流输送机构被配置为将位于所述回流工位处的所述空料盒朝向所述硅片收片工位输送以使得空料盒回流至所述硅片收片工位处；所述硅片循环收料系统还包括第一料盒换向机构、第二料盒换向机构、第三料盒换向机构、第四料盒换向机构及第五料盒换向机构，其中：所述第一料盒换向机构设置在所述硅片收片工位处，所述第二料盒换向机构设置在所述收料输送机构的输送路径上，所述第三料盒换向机构设置在所述收料工位处，所述第四料盒换向机构设置在所述回流工位处，所述第五料盒换向机构设置在所述回流输送机构的输送路径上；所述第一料盒换向机构被配置为承载并顶升位于所述硅片收片工位处的料盒以实现所述料盒对硅片的收片，所述第一料盒换向机构还被配置为将收满硅片的满料盒换向至所述第二料盒换向机构上；所述第二料盒换向机构被配置为将所述满料盒换向至所述收料输送机构上；所述第三料盒换向机构被配置为将位于所述收料工位处的被搬空的空料盒换向至所述第四料盒换向机构上；所述第四料盒换向机构被配置为将所述空料盒换向至所述回流输送机构上；所述第五料盒换向机构被配置为将所述回流输送机构上的所述空料盒换向至所述第一料盒换向机构上。

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