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申请/专利权人：赛尔科技(如东)有限公司

摘要：本发明涉及晶圆减薄领域，具体是涉及一种晶圆减薄砂轮的减震机构，包括砂轮本体，砂轮本体的非工作端固定设有一个轮罩，砂轮本体的中心同轴插设有一个转轴，轮罩上固定设有套设在转轴上的轴套，转轴的下半部沿着其轴线方向开设有卡槽，轴套的内圈具有滑动卡接于卡槽中的卡块，转轴的中部设有微量进给驱动器，轴套与微量进给驱动器连接，轮罩的四周分别设有一个震幅检测组件，微量进给驱动器上固定连接有供每个震幅检测组件安装的套壳，套壳上还设有用以与震幅检测组件配合对砂轮本体进行减震的动态平衡组件，本发明通过震幅检测组件与动态平衡组件之间的配合调整砂轮本体的平衡状态，提高了砂轮本体的稳定性，保证了晶圆表面减薄的均匀度。

主权项：1.一种晶圆减薄砂轮的减震机构，包括砂轮本体（1），砂轮本体（1）的非工作端固定设有一个轮罩（11），砂轮本体（1）的中心同轴插设有一个转轴（3），轮罩（11）上固定设有套设在转轴（3）上的轴套（4），转轴（3）的下半部沿着其轴线方向开设有卡槽（41），轴套（4）的内圈具有滑动卡接于卡槽（41）中的卡块（411），转轴（3）的中部设有微量进给驱动器（5），轴套（4）与微量进给驱动器（5）连接，其特征在于，轮罩（11）的四周分别设有一个震幅检测组件（6），微量进给驱动器（5）上固定连接有供每个震幅检测组件（6）安装的套壳（31），套壳（31）上还设有用以与震幅检测组件（6）配合对砂轮本体（1）进行减震的动态平衡组件（7）；动态平衡组件（7）设有用以促使震幅检测组件（6）下压轮罩（11）的抵压驱动件（71），一个震幅检测组件（6）对应设有一个抵压驱动件（71），抵压驱动件（71）设有液压通道（711）和柱塞杆件（712），液压通道（711）固定设置在套壳（31）上，柱塞杆件（712）的一端插设于液压通道（711）中，柱塞杆件（712）的另一端朝向震幅检测组件（6）的方向延伸，柱塞杆件（712）与震幅检测组件（6）之间连接设有联动杆（713）；柱塞杆件（712）插设于液压通道（711）中的端部固定套设有与液压通道（711）内部直径一致的柱塞套（7121），柱塞杆件（712）朝向压力传感器（61）的一端固定设有平移滑块（7122），套壳（31）上沿着其轴心线的方向设有供平移滑块（7122）滑动的横向导轨（311），联动杆（713）的两端分别与平移滑块（7122）和伸缩杆（62）的上端铰接，套壳（31）的上方同轴设有第一环管（7111）和第二环管（7112），第一环管（7111）的直径大于第二环管（7112）的直径，每个抵压驱动件（71）的液压通道（711）均与第一环管（7111）和第二环管（7112）连通，并且每个液压通道（711）与第一环管（7111）和第二环管（7112）的连通处均设有电控阀门（7113）。

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