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申请/专利权人：浙江中宁硅业股份有限公司

摘要：本发明公开了一种乙硅烷制备装置及工艺，涉及制备乙硅烷技术领域，制备装置包括过滤部、负压部和气流部。还公开了一种乙硅烷制备工艺，包括以下步骤：将反应物加入反应釜并进行反应，产生的硅烷和乙硅烷混合气体通过三通进气管进入到流体腔内，并在多重活性炭板的作用下过滤杂质；过滤后的混合气体通过三通出气管进入到分子筛吸附塔内去除混合气中的氯硅类气体。本发明通过设置过滤部便于对活性炭板的自动更换，负压部将流体腔内的气体抽入并形成负压状态，防止在清理饱和后的活性炭板时气体发生泄漏，提高生产的安全性；通过气流部和负压部的配合，能使新的活性炭板和饱和的活性炭板进行一一对应的更换和补充，节省工序，提高生产效率。

主权项：1.一种乙硅烷制备装置，包括过滤箱（1），所述过滤箱（1）的两端分别连通有三通进气管（2）和三通出气管（3），所述三通进气管（2）的一端连通有反应釜（4），所述三通出气管（3）的一端连通有分子筛吸附塔（5），其特征在于,所述过滤箱（1）的内部设置有多个流体腔（6），所述过滤箱（1）的上下两端分别设置有多个储物箱（11）和收料箱（7），且每个收料箱（7）和储物箱（11）分别与流体腔（6）相对应，还包括：过滤部（8），过滤部（8）设置为两组，其包括环形架（801），所述环形架（801）转动安装于流体腔（6）的内部，且环形架（801）的内部设置有多个活性炭板（12），所述过滤部（8）在转动时能够实现更换活性炭板（12）；负压部（9），负压部（9）设置为两组，其包括有活塞板（901），所述活塞板（901）密封滑动设置于收料箱（7）的内部，所述负压部（9）在运动时能够将流体腔（6）内残留的混合气体吸入其内部并使流体腔（6）内产生负压；气流部（10），气流部（10）设置为两组，所述气流部（10）设置于储物箱（11）与收料箱（7）之间，其包括推板（101），所述推板（101）密封滑动设置于收料箱（7）的内部，所述负压部（9）在运动过程中推动所述气流部（10）使其内部的气流能够对储物箱（11）内的活性炭板（12）产生挤压；所述环形架（801）的内部开设有多个限位槽（802），所述活性炭板（12）安装于限位槽（802）内，所述环形架（801）的外壁固定安装有多个滤网（803），所述环形架（801）的一端固定安装有驱动电机（804），且驱动电机（804）固定安装于过滤箱（1）的一端；所述收料箱（7）的两端分别设置有第一腔体（701）和第二腔体（702）；所述活塞板（901）密封滑动于第一腔体（701）内，且第一腔体（701）与流体腔（6）之间连通有第一管路（902），所述活塞板（901）与第一腔体（701）之间固定安装有电动伸缩件（903），所述活塞板（901）远离电动伸缩件（903）的一端固定安装有多个推杆（904），所述推杆（904）用于推动掉落的活性炭板（12）；所述推板（101）密封滑动于第二腔体（702）内，且第二腔体（702）与流体腔（6）之间开设有第一连通孔（102）；还包括封堵部（13），所述封堵部（13）设置为两组，所述封堵部（13）设置于过滤箱（1）的底部两端，其包括矩形框（131），且矩形框（131）固定安装于负压部（9）的上端，所述负压部（9）在运动时能够触发所述封堵部（13）解除对流体腔（6）的密封；所述矩形框（131）固定安装于活塞板（901）的上端，所述第一连通孔（102）的内壁转动安装有密封板（132）；每个所述流体腔（6）均与对应的储物箱（11）之间开设有第二连通孔（107）；所述储物箱（11）的内部固定安装有活塞筒（103），且活塞筒（103）与第二腔体（702）之间连通有第二管路（104），所述活塞筒（103）的内部密封滑动有活塞杆（105），所述活塞杆（105）的一端固定安装有横板（106），所述横板（106）能够将储物箱（11）内的多个活性炭板（12）推动；所述活性炭板（12）的两端均固定安装有滑块（121），所述第一连通孔（102）与第二腔体（702）之间开设有滑槽（122），所述滑块（121）能沿着滑槽（122）运动；当活性炭板（12）吸附饱和后，需要更换时，所述驱动电机（804）驱动环形架（801）转动，使上端的第一个活性炭板（12）转动至第一连通孔（102）处，此时第一个活性炭板（12）在自身重量的作用下脱离限位槽（802）内，在脱离限位槽（802）后，所述活性炭板（12）两端的滑块（121）沿着第一连通孔（102）内的滑槽（122）掉落至第二腔体（702）内，随后驱动电机（804）驱动环形架（801）再转动至第二连通孔（107）并将新的活性炭板（12）安装进限位槽（802）内；所述矩形框（131）固定安装于活塞板（901）的上端，所述第一连通孔（102）的内壁转动安装有密封板（132），所述过滤箱（1）底部两端开设有与矩形框（131）两端相对应的长槽，所述矩形框（131）的两端在长槽内轴向运动，所述矩形框（131）中部的矩形孔的直径大于或等于密封板（132）的直径，所述密封板（132）两端设置有气囊，所述密封板（132）处于关闭状态时，所述气囊对滑槽（122）进行封堵，防止混合气体进入到收料箱（7）内，所述气囊不会对密封板（132）转动时造成影响；当驱动电机（804）带动环形架（801）上端的第一个活性炭板（12）转动至第一连通孔（102）处时，控制器控制电动伸缩件（903）运动，通过电动伸缩件（903）伸出第一长度带动活塞板（901）和推杆（904）往第二腔体（702）方向运动，所述活塞板（901）在运动的过程中通过第一管路（902）将流体腔（6）内残留的混合气体吸入其内部，流体腔（6）内产生负压；在电动伸缩件（903）伸出第一长度的同时，所述活塞板（901）带动矩形框（131）运动，所述矩形框（131）远离电动伸缩件（903）的一端脱离对密封板（132）的支撑，所述密封板（132）在缺少支撑后往下翻转并脱离对第一连通孔（102）的密封，此时限位槽（802）内的活性炭板（12）发生脱离，脱离后的活性炭板（12）掉落至第一连通孔（102）内并沿着滑槽（122）往下运动，在活性炭板（12）到达预设位置后，其一侧与推杆（904）的一端接触。

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