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申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶片退火装置，包括安装组件和支撑组件，所述安装组件包括两个对称布置的安装板；所述支撑组件安装在两个所述安装板之间，所述支撑组件包括下支撑杆和两个上支撑板，两个所述上支撑板对称布置在所述下支撑杆的上方，所述下支撑杆和两个所述上支撑板共同限定出用于放置晶片的容纳空间，多个晶片间隔安装在所述容纳空间内；所述上支撑板与所述下支撑杆之间的相对位置可调。根据本实用新型的晶片退火装置，能够容纳多个晶片，并将其同步进行退火操作；同时，内部容纳空间可调，以适应不同尺寸的晶片，成本低。
主权项：1.一种晶片退火装置，其特征在于，包括：安装组件，所述安装组件包括两个对称布置的安装板；支撑组件，所述支撑组件安装在两个所述安装板之间，所述支撑组件包括下支撑杆和两个上支撑板，两个所述上支撑板对称布置在所述下支撑杆的上方，所述下支撑杆和两个所述上支撑板共同限定出用于放置晶片的容纳空间，多个晶片间隔安装在所述容纳空间内；其中，所述上支撑板与所述下支撑杆之间的相对位置可调。
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百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 晶片退火装置
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