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申请/专利权人：苏州拓升智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种管式PECVD设备的抓舟倾斜后报警结构，包括：底板、龙门架、两组微动开关、转接块以及两组用于触发微动开关的触发机构，龙门架的顶部支撑板上设置有轴承座，轴承座内设置有转动轴，转动轴的两端与所述转接块相连接，触发机构包括贯穿顶部支撑板的导向台阶轴、设置于导向台阶轴上、下两端的顶部垫片、底部垫片以及套设于导向台阶轴上的弹力件，弹力件被限制于所述顶部垫片与顶部支撑板之间，转接块的两侧分别设置有用于压制顶部垫片的压持块，本实用新型的管式PECVD设备的抓舟倾斜后报警结构，当石墨舟发生倾斜时触发报警，暂停动作，防止进一步损坏石墨舟。
主权项：1.一种管式PECVD设备的抓舟倾斜后报警结构，其特征在于，包括：底板、设置于底板上的龙门架、两组微动开关、转接块以及两组用于触发微动开关的触发机构，所述龙门架的顶部支撑板上设置有轴承座，所述轴承座内设置有转动轴，所述转动轴的两端与所述转接块相连接，所述触发机构包括贯穿顶部支撑板的导向台阶轴、设置于导向台阶轴上、下两端的顶部垫片、底部垫片以及套设于导向台阶轴上的弹力件，所述弹力件被限制于所述顶部垫片与顶部支撑板之间，所述转接块的两侧分别设置有用于压制顶部垫片的压持块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州拓升智能装备有限公司 一种管式PECVD设备的抓舟倾斜后报警结构
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