龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
申请日：2024-01-15
公开（公告）日：2024-08-30
公开（公告）号：CN221621865U
专利技术分类：...以研磨垫表面的形状为特征，如带有槽的[2012.01]
专利摘要：本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种晶圆研磨垫，包括研磨垫主体，所述研磨垫主体的中心至其外侧表面的任一点的直线为等分线，所述等分线被n‑1个均分点均分成n等分，其中，n≥3，每个所述均分点上设有一个检测窗口。本实用新型提供的晶圆研磨垫，通过在研磨垫本体的等分线上设置n‑1个均分点，且n≥3，并在每个均分点上设置一个检测窗口，从而使得研磨垫主体上至少设有两个检测窗口，从而增加了晶圆经过终点检测窗口时候的检测范围，弥补了现有技术中单点检测时有可能出现的漏检错检，保证了检测精度，从而可以更好地了解晶圆表面的情况，防止出现过磨或研磨不够的情况出现，从而保证了晶圆的质量。
专利权项：1.一种晶圆研磨垫，其特征在于：包括研磨垫主体，所述研磨垫主体的中心至其外侧表面的任一点的直线为等分线，所述等分线被n-1个均分点均分成n等分，其中，n≥3，每个所述均分点上设有一个检测窗口。
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种晶圆研磨垫
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号