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申请/专利权人：星钥(珠海)半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种晶圆研磨垫，包括研磨垫主体，所述研磨垫主体的中心至其外侧表面的任一点的直线为等分线，所述等分线被n‑1个均分点均分成n等分，其中，n≥3，每个所述均分点上设有一个检测窗口。本实用新型提供的晶圆研磨垫，通过在研磨垫本体的等分线上设置n‑1个均分点，且n≥3，并在每个均分点上设置一个检测窗口，从而使得研磨垫主体上至少设有两个检测窗口，从而增加了晶圆经过终点检测窗口时候的检测范围，弥补了现有技术中单点检测时有可能出现的漏检错检，保证了检测精度，从而可以更好地了解晶圆表面的情况，防止出现过磨或研磨不够的情况出现，从而保证了晶圆的质量。
主权项：1.一种晶圆研磨垫，其特征在于：包括研磨垫主体，所述研磨垫主体的中心至其外侧表面的任一点的直线为等分线，所述等分线被n-1个均分点均分成n等分，其中，n≥3，每个所述均分点上设有一个检测窗口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 星钥(珠海)半导体有限公司 一种晶圆研磨垫
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