买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：中芯微(周口)半导体有限公司

摘要：本实用新型公开了一种半导体制造设备框架，涉及半导体制造设备框架技术领域，包括支撑板，所述支撑板的下端固定连接有支撑杆，所述支撑杆的下端滑动连接有移动杆，所述移动杆的内部滑动连接有延伸杆，所述延伸杆的下端固定连接有支撑腿，所述支撑杆的一侧固定连接有限制杆，所述移动杆的内部开设有移动槽，所述移动槽的一侧滑动连接有挡块。本实用新型通过设置挡块、限制孔、移动杆，对框架的高度进行调整，又设置有活动槽、第二活动块、限制槽，使电动伸缩杆与框架进行连接，又设置有输出电机、传动齿轮组、往复螺杆、移动块，带动挡块进行伸缩，通过设置延伸杆、旋转螺母，对框架的高度进行微调。

主权项：1.一种半导体制造设备框架，包括支撑板（1），其特征在于：所述支撑板（1）的下端固定连接有支撑杆（8），所述支撑杆（8）的下端滑动连接有移动杆（11），所述移动杆（11）的内部滑动连接有延伸杆（15），所述延伸杆（15）的下端固定连接有支撑腿（14），所述支撑杆（8）的一侧固定连接有限制杆（9）；所述移动杆（11）的内部开设有移动槽（26），所述移动槽（26）的一侧滑动连接有挡块（10），所述支撑杆（8）的一侧开设有限制孔（12），所述限制孔（12）的一侧滑动连接有挡块（10），所述限制杆（9）的一侧开设有活动槽（21），所述活动槽（21）的一侧滑动连接有第二活动块（20），所述第二活动块（20）的一侧开设有限制槽（19），所述限制槽（19）的一侧滑动连接有电动伸缩杆（16）的活动部，所述挡块（10）的下端固定连接有移动块（25），所述移动块（25）的一侧螺纹连接有往复螺杆（28），所述往复螺杆（28）的一侧固定连接有传动齿轮组（29），所述传动齿轮组（29）的一侧固定连接有输出电机（30）的输出轴，所述输出电机（30）的一侧固定连接有移动杆（11）；所述支撑板（1）的上端开设有滑槽（7），所述滑槽（7）的一侧滑动连接有滑块（22），所述滑块（22）的一端固定连接有第一活动块（2），所述第一活动块（2）的一侧螺纹连接有第一固定螺杆（4），所述第一固定螺杆（4）的一端滑动连接有支撑板（1），所述第一活动块（2）的一侧滑动连接有移动螺杆（3），所述移动螺杆（3）的一侧螺纹连接有夹块（23），所述夹块（23）的一侧滑动连接有第一活动块（2），所述第一活动块（2）的下端滑动连接有支撑板（1）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中芯微(周口)半导体有限公司 一种半导体制造设备框架