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申请/专利权人：矽安光电科技(南通)有限公司
摘要：本申请公开了一种平面光波导芯片端面镀膜的夹具，包括：芯片夹持夹具和固定安装所述芯片夹持夹具的安装底座，所述芯片夹持夹具有带凹槽的金属背板和塑料压片交替重复组成，芯片放置在所述金属背板的凹槽中，所述安装底座中间设置一个台阶，所述台阶的深度小于等于所述芯片夹持夹具的高度。芯片夹持夹具通过金属片和塑料片的组合可夹持固定芯片并保护芯片表面不受挤压破坏，安装底座设计一个控制芯片露出量得台阶，在台阶上安装固定芯片，能保证不同尺寸的芯片有相同的露出量，可控制镀膜端面与蒸镀源距离的一致性，并保证膜层在芯片表面的进深从而保护芯片表面不受漏膜的影响，通用性高，可操作性强，可提高平面光波导芯片的镀膜质量和工作效率。
主权项：1.一种平面光波导芯片端面镀膜的夹具，其特征在于，包括：芯片夹持夹具和固定安装所述芯片夹持夹具的安装底座，所述芯片夹持夹具有带凹槽的金属背板和塑料压片交替重复组成，芯片放置在所述金属背板的凹槽中，所述安装底座中间设置一个台阶，所述台阶的深度小于等于所述芯片夹持夹具的高度。
全文数据：
权利要求：
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