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申请/专利权人:苏州山河光电科技有限公司
摘要:本实用新型提供一种光谱仪,包括:准直器,用以将入射狭缝出射的光准直为平行光;超表面光栅,所述超表面光栅用以将所述平行光色散为不同波长的光,并将色散后的不同波长的光聚焦到检测平面的不同位置处;滤光片,所述滤光片用以在所述检测平面处对聚焦后的光进行滤光;光电探测器,所述光电探测器用以在所述检测平面处接收经所述滤光片滤光后的光;使得所述光谱仪能够同时实现高效率、高分辨率、高信噪比。
主权项:1.一种光谱仪,其特征在于:包括:准直器,用以将入射狭缝出射的光准直为平行光;超表面光栅,所述超表面光栅用以将所述平行光色散为不同波长的光,并将色散后的不同波长的光聚焦到检测平面的不同位置处;滤光片,所述滤光片用以在所述检测平面处对聚焦后的光进行滤光;光电探测器,所述光电探测器用以在所述检测平面处接收经所述滤光片滤光后的光。
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百度查询: 苏州山河光电科技有限公司 光谱仪
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