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申请/专利权人：成都榛钻科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种等离子体化学气象沉积腔体，解决了高功率微波情况下，次生等离子体刻蚀微波窗口造成金刚石硅污染的技术问题。包括隔断腔、生长腔、石英微波窗口和微波导入机构；微波导入机构包括不锈钢水冷天线和微波导管。本实用新型对传统微波介质窗口进行改进，将传统微波介质窗口的中部替换为不锈钢钢水冷天线，等离子体于不锈钢水冷天线下方形成，微波电场的次强区存在于不锈钢钢水冷天线与等离子体之间，当生长腔内输入的微波功率较高时，次强区内产生的次生等离子体受不锈钢钢水冷天线阻挡，次生等离子体距石英微波窗口一定距离，使得石英微波窗口远离次生等离子体轰击，避免石英微波窗口受次生等离子体刻蚀。
主权项：1.一种等离子体化学气象沉积腔体，其特征在于，包括隔断腔2，生长腔1，微波导入机构，以及设于生长腔1与隔断腔2之间的石英微波窗口3；微波导入机构包括设于生长腔1内的不锈钢水冷天线7，以及设于隔断腔2内并穿过石英微波窗口3与不锈钢水冷天线7相连用于将微波传输至不锈钢水冷天线7的微波导管5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都榛钻科技有限公司 一种等离子体化学气象沉积腔体
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