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申请/专利权人：江苏惠达电子科技有限责任公司
摘要：本实用新型提供的一种排片机用气流除尘装置，属于排片机技术领域，包括支撑架、除尘机构及往返机构，支撑架开设有除尘空间，输送机设于除尘空间内；除尘机构设于除尘空间内，且位于输送机的上方，除尘机构包括吹风机、连接软管及排风管，吹风机设于支撑架上，连接软管一端与吹风机的出风口连通，另一端与排风管连通，排风管的排风口位于输送机的输送面的正上方；往返机构的数量为两个，均设于支撑架上，两个往返机构分别设于排风管两侧，且与排风管连接，用于驱动排风管沿输送机的输送方向往复移动。本实用新型提供的排片机用气流除尘装置，借助往返机构控制排风管在掩膜版的上方进行往复多次吹风除尘，从而清除石英晶片上的灰尘。
主权项：1.一种排片机用气流除尘装置，其特征在于，包括：支撑架，开设有除尘空间；输送机设于所述除尘空间内；除尘机构，设于所述除尘空间内，且位于所述输送机的上方；所述除尘机构包括吹风机、连接软管及排风管，所述吹风机设于所述支撑架上；所述连接软管一端与所述吹风机的出风口连通，另一端与所述排风管连通；所述排风管的排风口位于所述输送机的输送面的正上方；往返机构，数量为两个，均设于所述支撑架上，且位于所述除尘空间内；两个所述往返机构分别设于所述排风管两侧，且与所述排风管连接，用于驱动所述排风管沿所述输送机的输送方向往复移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏惠达电子科技有限责任公司 一种排片机用气流除尘装置
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