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申请/专利权人：上海威缶电子科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆运载机械臂的训练治具，属于晶圆器械维护领域，具体包括圆形基座，下表面设置与晶圆装载平台的细金属柱配合的孔洞；圆形调整平台，通过螺纹固定在所述圆形基座上，周边开设有与所述晶圆运载机械臂配合的至少一个凹槽，所述凹槽的内表面设置有保护涂层。通过本申请的处理方案，提高了机械臂校准的精度。
主权项：1.一种晶圆运载机械臂的训练治具，其特征在于，包括：圆形基座，下表面设置与晶圆装载平台的细金属柱配合的孔洞；圆形调整平台，通过螺纹固定在所述圆形基座上，周边开设有与所述晶圆运载机械臂配合的至少一个凹槽，所述凹槽的内表面设置有保护涂层。
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百度查询： 上海威缶电子科技有限公司 晶圆运载机械臂的训练治具
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