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申请/专利权人:上海电气集团恒羲光伏科技(南通)有限公司
摘要:本实用新型涉及镀膜工艺技术领域,公开了一种载板及镀膜设备,其中载板包括基板和盖板,基板具有支撑面,支撑面上具有第一通孔,支撑面上适于放置待镀件,待镀件覆盖第一通孔;盖板与基板可拆卸连接,盖板具有遮挡部,遮挡部覆盖支撑面,且遮挡部上开设有第二通孔,第二通孔在支撑面上的正投影位于待镀件内。在镀膜时,首先将待镀件放置在所述支撑面上,然后再将盖板与基板连接,此时遮挡部覆盖支撑面,且第二通孔在支撑面上的正投影位于待镀件内,由于遮挡部遮挡了在第二通孔正投影之外待镀件的表面,因此在镀膜过程中,仅仅能实现在第二通孔正投影内的待镀件表面的镀膜,从而避免了待镀件侧面的镀膜,避免了待镀件短路失效的情况。
主权项:1.一种载板,其特征在于,包括:基板1,所述基板1具有支撑面11,所述支撑面11上开设有第一通孔111,所述支撑面11上适于放置待镀件3,所述待镀件3覆盖所述第一通孔111;盖板2,所述盖板2与所述基板1可拆卸连接,所述盖板2具有遮挡部21,所述遮挡部21覆盖所述支撑面11,且所述遮挡部21上开设有第二通孔211,所述第二通孔211在所述支撑面11上的正投影位于所述待镀件3内。
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