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申请/专利权人：苏州金沐智能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种电磁加热式硅片镀膜炉，其包括圆柱形的炉体，还包括向炉体内注入反应气体的喷淋系统；所述炉体的材质为钢质材料，其外侧缠绕有电磁加热丝；所述炉体内具有圆柱形的镀膜空腔，所述镀膜空腔内安装有载具以及用于保持所述载具的姿态的保持机构，所述载具的外轮廓为方形；所述炉体的一端敞口，其敞口端安装有能够开闭的炉门。上述结构中，采用钢质材料作为炉体的结构，并以电磁加热丝直接对炉体进行加热，且通过在炉体内设置保持机构以方便对载具进行导引与定位，取消了传统的外圆内方的双层炉体结构，使得结构大为精简，上述炉体与电磁加热丝均维护维修方便，相比于传统的炉体与电加热结构，寿命大为延长，且结构简单，成本也低。
主权项：1.一种电磁加热式硅片镀膜炉，其特征在于，其包括圆柱形的炉体1，还包括向所述炉体1内注入反应气体的喷淋系统5；所述炉体1的材质为钢质材料，其外侧缠绕有电磁加热丝6；所述炉体1内具有圆柱形的镀膜空腔，所述镀膜空腔内安装有载具2以及用于保持所述载具2的姿态的保持机构4，所述载具2的外轮廓为方形；所述炉体1的一端敞口，其敞口端安装有能够开闭的炉门3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州金沐智能科技有限公司 一种电磁加热式硅片镀膜炉
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