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申请/专利权人:豪威半导体(太仓)有限公司
摘要:本实用新型提供一种吸嘴定位校准装置,包括:芯片测试载台,芯片测试载台上设置有若干芯片测试位;吸嘴定位载具,吸嘴定位载具上设置有与芯片测试位一一对应的吸嘴定位孔,吸嘴定位孔的中心与芯片测试位的中心对应。吸嘴组件,吸嘴组件包括若干相互独立运动的吸嘴单元,吸嘴单元包括吸嘴和气缸,控制若干吸嘴分别运动到对应的吸嘴定位孔位置进行定位校准,使校准后的若干吸嘴与若干芯片测试位一一对准。吸嘴定位载具的吸嘴定位孔的中心与芯片测试载台的芯片测试位的中心对应;通过芯片测试载台进行定位,保证吸嘴在校准后的精度与芯片测试载台是一致的,提升了校准精度。可以更快速、便捷、有效的进行多点真空吸嘴精度校准。
主权项:1.一种吸嘴定位校准装置,其特征在于,包括:芯片测试载台,所述芯片测试载台上设置有若干芯片测试位,所述芯片测试载台所在平面设有相互垂直的X方向和Y方向,垂直于所述芯片测试载台平面的方向设为Z方向;吸嘴定位载具,所述吸嘴定位载具上设置有与所述芯片测试位一一对应的吸嘴定位孔,所述吸嘴定位孔的中心与所述芯片测试位的中心对应;吸嘴组件,所述吸嘴组件包括若干相互独立运动的吸嘴单元,所述吸嘴单元包括吸嘴和带动所述吸嘴运动的气缸,控制若干所述吸嘴分别运动到对应的所述吸嘴定位孔位置进行定位校准,使校准后的若干所述吸嘴与若干所述芯片测试位一一对准。
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