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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本公开涉及一种基板干法蚀刻电极组件，基板干法蚀刻电极组件包括：第一隔离保护板、第二隔离保护板、第一电极板以及第二电极板。第二隔离保护板与第一隔离保护板相对间隔设置形成第一间隔区域，第一间隔区域用于放置待处理的基板的主体部。第一电极板与第一隔离保护板呈夹角设置。第二电极板与第二隔离保护板呈夹角设置。等离子体的蚀刻方向性改变，能实现晶边膜层蚀刻后晶边的状态从断崖式变为平缓式，进而在随后的制程中晶边薄膜剥落的可能性会大大降低，从而可以改善缺陷状况。此外，第一电极板与第二电极板均和基板呈夹角设置时，第一间隔区域通入保护气体时仍然能保证基板的主体部上的膜层不会被蚀刻，即不会受到任何影响。
主权项：1.一种基板干法蚀刻电极组件，其特征在于，所述基板干法蚀刻电极组件包括：第一隔离保护板；第二隔离保护板，所述第二隔离保护板与所述第一隔离保护板相对间隔设置形成第一间隔区域，所述第一间隔区域用于放置待处理的基板的主体部；第一电极板，所述第一电极板环绕地连接于所述第一隔离保护板的周边，且所述第一电极板与所述第一隔离保护板呈夹角设置；第二电极板，所述第二电极板环绕地连接于所述第二隔离保护板的周边，且所述第二电极板与所述第二隔离保护板呈夹角设置，所述第一电极板与所述第二电极板相对间隔设置形成第二间隔区域，所述第二间隔区域用于放置所述基板的边缘部；其中，所述第一电极板与所述第一隔离保护板形成的夹角为第一夹角，所述第一夹角可调；和或，所述第二电极板与所述第二隔离保护板形成的夹角为第二夹角，所述第二夹角可调。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 基板干法蚀刻电极组件、装置和方法
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