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申请/专利权人：合肥工业大学智能制造技术研究院
摘要：本发明提供了一种晶硅材料表面处理生产及检测装置，包括：底筒和上罩，所述底筒内部设有隔板，所述隔板将底筒内部等比例分割成若干组仓室；转移组件，所述底筒中心处设有基台，所述转移组件装配在基台上，所述转移组件上设有两组工作区域，所述转移组件自上罩内部延伸出上罩后，两组工作区域同步进行取料，取料完成后不同工作区域驱动加工物料依次转移到不同仓室进行相应的处理。本发明通过让第一喷淋室和第二喷淋室分别设置在超声波室两侧，当其中一组工作区在喷淋室进行相应喷淋洗涤时，另外一组工作区可以在超声波室进行清洗，利用往复操作来对两组晶硅片进行同步处理，让处理时间得到大幅度提升工作效率。
主权项：1.一种晶硅材料表面处理生产装置，其特征在于，包括：底筒和上罩，所述底筒内部设有隔板，所述隔板将底筒内部等比例分割成若干组仓室；转移组件，所述底筒中心处设有基台，所述转移组件装配在基台上，所述转移组件上设有两组工作区域，所述转移组件自上罩内部延伸出上罩后，两组工作区域同步进行取料，取料完成后不同工作区域驱动加工物料依次转移到不同仓室进行相应的处理。
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权利要求：
百度查询： 合肥工业大学智能制造技术研究院 晶硅材料表面处理生产及检测装置
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