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申请/专利权人：上海巅思智能科技有限公司
摘要：本发明涉及磁控溅射台沉积过程可视化领域，具体是基于动画仿真的磁控溅射台沉积过程可视化方法，获取磁控溅射台的设备信息，根据所述设备信息通过建模技术建立磁控溅射台的三维模型；根据磁控溅射沉积原理建立磁控溅射台沉积过程的数学模型；获取磁控溅射台的历史实验数据，对所述第一薄膜厚度模型进行修正后得到第二薄膜厚度模型；通过动画仿真技术模拟磁控溅射台沉积过程的动态变化，并将所述动态变化生成可视化动画。通过动画仿真，直观展示磁控溅射台沉积过程的动态变化，减少实验次数，节约研究成本，并且帮助研究人员深入理解和优化沉积过程。
主权项：1.基于动画仿真的磁控溅射台沉积过程可视化方法，其特征在于，所述方法包括：获取磁控溅射台的设备信息，根据所述设备信息通过建模技术建立磁控溅射台的三维模型；所述设备信息包括磁控溅射台的结构组成信息、工作原理信息；所述三维模型包括真空系统模型、溅射镀膜系统模型、供气系统模型、控制系统模型和辅助系统模型；根据磁控溅射沉积原理建立磁控溅射台沉积过程的数学模型，所述磁控溅射台沉积过程的数学模型包括荷能粒子运动模型、第一薄膜厚度模型；获取磁控溅射台的历史实验数据，通过所述历史实验数据对所述第一薄膜厚度模型进行修正后得到第二薄膜厚度模型；根据所述三维模型、荷能粒子运动模型和第二薄膜厚度模型，通过动画仿真技术模拟磁控溅射台沉积过程的动态变化，并将所述动态变化生成可视化动画。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海巅思智能科技有限公司 基于动画仿真的磁控溅射台沉积过程可视化方法
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