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申请/专利权人：中国计量大学;海宁集成电路与先进制造研究院
摘要：本申请提供一种位置敏感探测器的位置测量标定系统及方法，所述测量标定系统，通过横移平台和竖移平台带动位置敏感探测器进行多方向运行，实现位置敏感探测器沿x轴方向和y轴方向移动，以保证位置敏感探测器的精准测量标定。同时可实现对位置敏感探测器的多位置标定，提高位置敏感探测器的使用精度。
主权项：1.一种位置敏感探测器的位置测量标定系统，其特征在于，包括：测试台1；移动平台2，固定在所述测试台1上，包括横移平台21和竖移平台22，所述竖移平台22设置在所述横移平台21上，所述竖移平台22上设有用于安装位置敏感探测器5的安装位；激光发射器41，通过第一升降组件设置在所述测试台1上，所述激光发射器41的发射端朝向所述位置敏感探测器5设置，所述第一升降组件能在所述测试台1上移动，以使所述激光发射器41远离或靠近所述位置敏感探测器5；衰减器31，通过第二升降组件可移动设置在所述测试台1上，并位于所述激光发射器41与所述移动平台2之间，所述衰减器31设置在所述激光发射器的光发射方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国计量大学 海宁集成电路与先进制造研究院 位置敏感探测器的位置测量标定系统及方法
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