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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文公开了用于分析半导体晶片上的结构元件的截面特征以确定是否发生无法达到选定参数的孤立故障或系统故障的方法和系统。
主权项：1.一种非暂时性机器可读取储存介质，存储有指令，当执行时，促使处理装置执行操作，所述操作包括：获取以第一倾斜角测量的基板的结构元件的第一检查图像；获取以第二倾斜角测量的所述结构元件的第二检查图像；从所述第一检查图像产生第一波形；从所述第二检查图像产生第二波形；比较所述第一检查图像和所述第二检查图像以形成比较表示，其中比较所述第一检查图像和所述第二检查图像包括将所述第一波形与所述第二波形对准以形成对准图，并且其中将所述第一波形与所述第二波形对准包括识别所述第一波形和所述第二波形之间的最小偏移点；以及从所述比较表示来计算所述结构元件的特征。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 增强的截面特征测量方法
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