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申请/专利权人：苏州天准科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种基于光学成像的对准系统和套刻误差量测设备，属于半导体检测及加工制造领域，对准系统包括对准光源、匀光镜组、照明反射镜、半透半反镜、成像反射镜、成像镜组和图像采集单元；套刻误差量测设备包括采用前述对准系统的粗对准单元和精对准单元，运动载台，测量单元和控制模块；控制模块用于接收对准信息，测量单元用于测量调焦过的晶圆。本申请的对准系统结构简单，设备采用粗对准和精对准两种模式组合运用，既能保证对准精度又能提高对准速度，实现了套刻误差量测的高质量自动对焦，为超精密套刻误差量测提供基础保障，便于在半导体量检测和加工领域推广应用。
主权项：1.一种基于光学成像的对准系统，其特征在于：所述对准系统包括对准光源1、匀光镜组2、照明反射镜3、半透半反镜4、成像反射镜5、成像镜组6和图像采集单元7；所述对准光源1、匀光镜组2、照明反射镜3、半透半反镜4、成像反射镜5、成像镜组6和图像采集单元7布置在同一系统安装平面内，所述成像反射镜5的照明出射方向成像入射方向与系统安装平面垂直布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州天准科技股份有限公司 基于光学成像的对准系统和套刻误差量测设备
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