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申请/专利权人：苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司
摘要：本发明公开了一种火焰水解法沉积设备，包括机架本体，该机架本体内设有沉积仓，该沉积仓内固定安装有水解火焰喷枪和用于载料的旋转载台，该旋转载台上固定安装有若干环形阵列排布的自动调节载料台，该自动调节载料台包括固定支撑柱，载料盘，旋转电机，旋转传动装置，同步调节装置和同步调节电机，本发明通过可调节的载料台实现载料盘内的产品形成摇晃摆动，使其表面的沉积层更加均匀。
主权项：1.一种火焰水解法沉积设备，包括机架本体1，该机架本体1内设有沉积仓2，该沉积仓2内固定安装有水解火焰喷枪3和用于载料的旋转载台4，该旋转载台4上固定安装有若干环形阵列排布的自动调节载料台5，其特征在于：所述自动调节载料台5包括固定支撑柱51，载料盘52，旋转动力装置，旋转传动装置和同步调节装置55，该固定支撑柱51固定安装在旋转载台4上，该固定支撑柱51的上端固定连接有浮动连接组件6，该浮动连接组件6的另一端与载料盘52下端面固定连接，该固定支撑柱51上滑动套装有旋转传动装置，该旋转传动装置下端连接有旋转动力装置，该旋转传动装置与载料盘52下端面固定连接，该旋转传动装置上固定安装有同步调节装置55。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司 一种火焰水解法沉积设备
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