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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
摘要：提供振动器件，其小型且基波模式的CI值比二次谐波模式的CI值小。振动器件具有：振动元件；以及基座，振动元件借助导电性粘接剂固定于该基座，其中，振动元件包含：基部；振动臂，其与基部连接，在第1方向上延伸；以及支承臂，其在和第1方向垂直的第2方向上与振动臂排列配置，在第1方向上延伸，并通过导电性粘接剂固定于基座，在设支承臂的第1方向上的支承臂的基端的位置为P0、导电性粘接剂的中心位置为Pa、P0与Pa之间的长度为Da时，满足0.2×L1≥Da≥0.4×L1。
主权项：1.一种振动器件，其具有：振动元件；以及基座，所述振动元件借助导电性粘接剂固定于该基座，其中，所述振动元件包含：基部；振动臂，其与所述基部连接，在第1方向上延伸；以及支承臂，在将与所述第1方向垂直的方向设为第2方向时，该支承臂与所述振动臂在所述第2方向上排列配置，并且该支承臂在所述第1方向上延伸，通过所述导电性粘接剂固定于所述基座，所述振动臂包含：臂部；以及宽幅部，其位于所述臂部的与所述基部侧相反的一侧，沿着所述第2方向的长度比所述臂部大，所述臂部包含第1面、第2面、第1侧面和第2侧面，在所述第1面侧形成有第1槽，在所述第2面侧形成有第2槽，所述臂部的宽度Wa满足30μm≥Wa≥75μm，所述臂部的所述第1面与所述第2面之间的厚度T满足110μm≥T≥150μm，在设所述第1槽的深度为t1、所述第2槽的深度为t2时，满足0.884≥t1+t2T≥0.990，在设夹着所述第1槽排列的所述第1面的宽度和夹着所述第2槽排列的所述第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥WbT≥0.0326，所述振动臂的长度L1满足L1≥1000μm，在设所述支承臂的所述第1方向上的所述支承臂的基端的位置为P0、所述导电性粘接剂的中心位置为Pa、P0与Pa之间的长度为Da时，满足0.2×L1≥Da≥0.4×L1。
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