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申请/专利权人：中山大学
摘要：本发明公开了一种高次谐波体声波谐振器及其在高能射线探测中的应用，涉及半导体技术，针对现有技术中高能辐照与压电层吸收很难匹配的问题提出本方案。技术核心在于所述衬底用于吸收入射的高能射线以改变声波传播速度。优点在于，克服了本领域的技术偏见，不再利用压电层来吸收高能射线的能量。相反地，利用厚度更大的衬底进行能量吸收，既不会因为能量吸收层厚度增大的因素影响了器件的工作频率，同时避免因为对压电层的吸收依赖而降低压电层寿命。由于能量吸收完全不再依赖于压电层，因此压电层的厚度也能采用更薄的方案，提高器件谐振频率。
主权项：1.一种高次谐波体声波谐振器，包括衬底101以及设置在衬底101上方的压电层102；压电层102分别通过第一电极103和第二电极104与外部电路电性连接；所述衬底101用于传播压电层102产生的声波并形成高次谐波；其特征在于，所述衬底101用于吸收入射的高能射线以改变声波传播速度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中山大学 一种高次谐波体声波谐振器及其在高能射线探测中的应用
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