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申请/专利权人：复旦大学
摘要：本发明提出的是一种结合激光散斑干涉与剪切术的缺陷检测装置及方法，本发明检测装置的结构包括第一激光光源单元1‑1，第二激光光源单元1‑2，样品台3，参考光路单元4，剪切装置单元5，第一成像单元6a，第二成像单元6b；所述参考光路单元4包括第一聚焦透镜4b、单模光纤4c、第二聚焦透镜4d；所述剪切装置单元5包括可调孔径光阑5a、成像透镜5b、放大透镜5c、第二立方分束棱镜4e、第三立方分束棱镜5d、无载波平面反射镜5e、引载波平面反射镜5f；本发明方法能实现对物体表面变形缺陷的深度进行检测。
主权项：1.一种结合激光散斑干涉与剪切术的缺陷检测装置，其特征是包括第一激光光源单元1-1，第二激光光源单元1-2，样品台3，参考光路单元4，剪切装置单元5，第一成像单元6a，第二成像单元6b；所述参考光路单元4包括第一聚焦透镜4b、单模光纤4c、第二聚焦透镜4d；所述剪切装置单元5包括可调孔径光阑5a、成像透镜5b、放大透镜5c、第二立方分束棱镜4e、第三立方分束棱镜5d、无载波平面反射镜5e、引载波平面反射镜5f。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复旦大学 一种结合激光散斑干涉与剪切术的缺陷检测装置及方法
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