买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:武汉市汇达材料科技有限公司
摘要:本发明涉及半导体技术领域的一种化学气相沉积制备金刚石修整盘,包括有两个X轴滑轨以及Y轴滑轨,底板的底部设有框架槽,框架槽的内壁滑动连接有一号滑块和二号滑块,一号滑块和二号滑块的底部分别连接有一号激光头和二号激光头,一号激光头和二号激光头相对的表面分别连接有一号齿条板和二号齿条板,且一号齿条板和二号齿条板的中间连接有动力齿轮,动力齿轮的内部贯穿安装有延伸杆,且延伸杆的表面缠绕连接有牵拉索,可同时完成双陶瓷锭的加工处理,在进行批量陶瓷锭加工时,相较于单一数量激光头的频繁提升导致的抽吸中断,本发明可充分利用抽吸中断的时长进行邻近陶瓷锭的加工,以此提升雕刻效率,且降低装置的整体电路压力。
主权项:1.一种化学气相沉积制备金刚石修整盘的设备,包括有两个平行布置的X轴滑轨(1)以及滑动连接于X轴滑轨(1)内部与X轴滑轨(1)垂直布置的Y轴滑轨(2),所述Y轴滑轨(2)的内部滑动安装有移动平台(3),所述移动平台(3)的底部安装有位于Y轴滑轨(2)下方的底板(5),两个所述X轴滑轨(1)的中间布置有位于底板(5)下方的约束板(4),其特征在于:所述底板(5)的底部设有框架槽(8),所述框架槽(8)的内壁滑动连接有一号滑块(82)和二号滑块(83),且一号滑块(82)和二号滑块(83)之间通过短杆固定连接,所述一号滑块(82)和二号滑块(83)的底部分别通过伸缩套杆(15)连接有一号激光头(6)和二号激光头(7),所述一号激光头(6)和二号激光头(7)相对的表面分别连接有一号齿条板(9)和二号齿条板(10),且一号齿条板(9)和二号齿条板(10)的中间连接有与一号齿条板(9)和二号齿条板(10)啮合的动力齿轮(13),所述动力齿轮(13)的内部贯穿安装有延伸杆(14),且延伸杆(14)的表面缠绕连接有牵拉索(85)。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 武汉市汇达材料科技有限公司 一种化学气相沉积制备金刚石修整盘的设备及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。