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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要：本发明属于半球谐振陀螺仪领域，具体涉及一种石英玻璃亚表面缺陷层的快速检测方法，包括：获取待测样本和标样样本；使用激光轰击待测样本，将隐藏的亚表面缺陷层通过激光轰击显露出来，并通过显微镜观察，得到待测数据；使用激光轰击标样样本，并通过显微镜观察，得到标样数据；将待测数据与标样数据进行对比，得到待测样本的缺陷层残留情况。本发明采用激光轰击待测元件样品表面，检测轰击后表面的状态可快速定性判断亚表面缺陷层残留情况；采用该方法可快速评估亚表面缺陷层残留状态，制样要求低、简单便捷，测试速度、快效率高、无污染，可定位缺陷且无需昂贵的专用设备，适用于大部分可控激光设备。
主权项：1.一种石英玻璃亚表面缺陷层的快速检测方法，其特征在于，包括：S1：获取待测样本和标样样本；S2：使用激光轰击待测样本，将隐藏的亚表面缺陷层通过激光轰击显露出来，并通过显微镜观察，得到待测数据；S3：使用激光轰击标样样本，并通过显微镜观察，得到标样数据；S4：将待测数据与标样数据进行对比，得到待测样本的缺陷层残留情况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种石英玻璃亚表面缺陷层的快速检测方法
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