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申请/专利权人:华中科技大学
摘要:本发明公开了一种三片式带衍射环的贝塞尔光束整形系统,属于激光加工技术领域,包括:光束整形镜、第一准直镜和聚焦镜;光束整形镜的入射面和出射面分别为环形平面和环形非球面,用于将经过准直后的高斯光束整形为能量由内向外依次递减的点环形光束;第一准直镜的入射面和出射面分别为环形非球面和环形平面,用于对点环形光束进行准直;聚焦镜的入射面为轴锥面与球面的组合,出射面为平面;聚焦镜用于将准直后的点环形光束聚焦为带衍射环的贝塞尔光束。本发明能够显著提高激光加工中贝塞尔光束的焦深,还可以有效去除油墨等加工材料。除此之外,本发明中贝塞尔光束的焦深可调,且调节方式较多,灵活性较高,适用于不同的激光加工场景。
主权项:1.一种三片式带衍射环的贝塞尔光束整形系统,其特征在于,包括:沿着光路方向依次设置的光束整形镜、第一准直镜和聚焦镜;所述光束整形镜的入射面和出射面分别为环形平面和环形非球面,用于将经过准直后的高斯光束整形为能量由内向外依次递减的点环形光束;所述第一准直镜的入射面和出射面分别为环形非球面和环形平面,用于对所述点环形光束进行准直;所述聚焦镜的入射面为组合面和平面中的一个,出射面为组合面和平面中的另外一个;所述聚焦镜用于将准直后的点环形光束聚焦为带衍射环的贝塞尔光束;所述组合面为非球面,由从靠近所述聚焦镜的平面的一侧开始依次为轴锥面和球面;所述球面垂直于光路方向的截面半径处于[0,r1]范围内,所述轴锥面垂直于光路方向的截面半径处于r1,r2]范围内;r1小于所述点环形光束的内径;r2为预设半径。
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百度查询: 华中科技大学 一种三片式带衍射环的贝塞尔光束整形系统
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