龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司
摘要：本申请涉及一种用于晶圆键合设备的无摩擦气缸。该无摩擦气缸包括缸体；活塞杆组件，包括活塞与活塞杆，活塞可滑动地设置于缸体中，活塞的外周面与缸体的内周面之间具有第一气膜间隙，活塞具有均与第一气膜间隙相通的第一进气流道与第一排气流道，活塞杆与活塞连接且伸出缸体；推杆，插置于活塞杆组件中；隔套，设置于活塞杆组件与推杆之间，隔套的外周面与活塞杆组件的内周面之间具有第一通气间隔，隔套的内周面与推杆的外周面之间具有第二通气间隔，第一通气间隔与第二通气间隔中的其中一者与第一进气流道相通，以向第一气膜间隙通气进而生成高压气膜，另外一者与第一排气流道相通，以将第一气膜间隙内的扰动气体排出至无摩擦气缸的外部。
主权项：1.一种用于晶圆键合设备的无摩擦气缸，其特征在于，包括：缸体100；活塞杆组件，包括活塞200与活塞杆300，所述活塞200可滑动地设置于所述缸体100中，所述活塞200的外周面与所述缸体100的内周面之间具有第一气膜间隙P1，所述活塞200具有均与所述第一气膜间隙P1相通的第一进气流道210与第一排气流道220，所述活塞杆300与所述活塞200连接且伸出所述缸体100；推杆400，插置于所述活塞杆组件中；以及隔套500，设置于所述活塞杆组件与所述推杆400之间，所述隔套500的外周面与所述活塞杆组件的内周面之间具有第一通气间隔P2，所述隔套500的内周面与所述推杆400的外周面之间具有第二通气间隔P3，所述第一通气间隔P2与所述第二通气间隔P3中的其中一者与所述第一进气流道210相通，以向所述第一气膜间隙P1通气进而生成高压气膜，另外一者与所述第一排气流道220相通，以将所述第一气膜间隙P1内的扰动气体排出至所述无摩擦气缸10的外部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 用于晶圆键合设备的无摩擦气缸
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号