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申请/专利权人：株式会社则武;株式会社BBS金明
摘要：抛光垫与晶圆抛光方法。提供在抛光圆盘形状的晶圆3的外周边缘部3d、3e时，抛光效率更高，同时更难产生抛光不良，并且抛光后的晶圆3的洗净性优异的抛光垫1。本发明的抛光垫1用于抛光圆盘形状的晶圆3的外周边缘部3d、3e。抛光垫1的抛光面由研磨体构成，研磨体包含母材和磨粒。母材包含粘合剂树脂和纤维，形成有多个气孔。磨粒保持于母材内或者气孔内。磨粒为金刚石粒子。密度为0.58～0.81gcm3，邵氏硬度为16～27，弹性模量为21.5～37.5kgfmm2。
主权项：1.一种抛光垫1，其特征在于，用于抛光圆盘形状的晶圆3的外周边缘部3d、3e，其中，具有构成抛光面的研磨体，所述研磨体包含：包含粘合剂树脂与纤维，形成有多个气孔的母材；以及保持于所述母材内或者所述气孔内的磨粒，所述磨粒为金刚石粒子，邵氏硬度为16～27，密度为0.58～0.81gcm3，弹性模量为21.5～37.5kgfmm2。
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权利要求：
百度查询： 株式会社则武 株式会社BBS金明 抛光垫与晶圆抛光方法
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