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申请/专利权人：强一半导体(上海)有限公司
摘要：本发明公开了一种探针及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤：提供衬底；在所述衬底上电镀出第一主体层；在所述第一主体层上电镀出针尖层，所述针尖层包括相对的第一端和第二端；在所述针尖层上电镀出第二主体层，以形成探针，其中，所述针尖层的第一端凸出于所述第一主体层和所述第二主体层的端部；释放所述探针，对所述针尖层的第一端进行打磨塑形，形成针尖。本方案的探针制备方法可提高探针针尖的居中性、提高探针寿命，降低制造成本。
主权项：1.一种探针制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供衬底；在所述衬底上电镀出第一主体层；在所述第一主体层上电镀出针尖层，所述针尖层包括相对的第一端和第二端；在所述针尖层上电镀出第二主体层，以形成探针，其中，所述针尖层的第一端凸出于所述第一主体层和所述第二主体层的端部；释放所述探针，对所述针尖层的第一端进行打磨塑形，形成针尖。
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