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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及光栅干涉测量技术领域，具体提供一种利特罗光栅干涉测量装置及其应用，装置包括：双频正交偏振光源、偏振分光棱镜、反射组件、探测器，以及参数相同的第一衍射光栅和第二衍射光栅；第一衍射光栅和第二衍射光栅相对设置在偏振分光棱镜竖直方向上的两侧，在偏振分光棱镜水平方向上的两侧分别设有反射组件、以及双频正交偏振光源和探测器，通过偏振分光棱镜将双频正交偏振光源的输出光分为被透射的水平偏振测量光和被反射的垂直偏振测量光，并在第一衍射光栅和第二衍射光栅之间分别实现两次衍射，最后两束测量光干涉射入探测器，依据干涉图样计算光栅位移。本发明在利特罗入射情况下实现了二次衍射，提升了位移测量精度。
主权项：1.一种利特罗光栅干涉测量装置，其特征在于，包括：光源、偏振分光棱镜、反射组件、探测器，以及参数相同的第一衍射光栅和第二衍射光栅；其中，所述光源的输出光由频率不同且偏振态相互垂直的第一测量光和第二测量光组成，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅平行且位置对应设置在所述偏振分光棱镜的两侧，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅均将衍射光沿原入射光路反射；在所述偏振分光棱镜的另外两侧中，一侧设有所述反射组件，另一侧设有所述光源和所述探测器；所述反射组件与所述偏振分光棱镜之间均设有第一四分之一波片；所述第一衍射光栅与所述偏振分光棱镜之间设有第二四分之一波片；所述第二衍射光栅与所述偏振分光棱镜之间设有第三四分之一波片；所述偏振分光棱镜用于分离第一测量光和第二测量光，透射水平偏振态的光、反射垂直偏振态的光；所述反射组件用于将入射光反射向所述探测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种利特罗光栅干涉测量装置及其应用
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