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申请/专利权人：北京惠然肯来科技中心(有限合伙);惠然科技有限公司

摘要：本申请公开了一种用于双束电镜的物镜结构及双束电镜。该物镜结构包括：物镜第一电极，其包括第一装配面和第一静电面；物镜第二电极，其包括第二装配面和第二静电面；物镜第三电极，其包括第三装配面和第三静电面；以及空心柱体，其轴线与物镜结构的轴线重合；其中，第一装配面、第二装配面和第三装配面沿物镜结构轴线的方向依次布置，第三装配面平行于第一装配面，且第三装配面与第一装配面装配在一起，从而使得物镜第一电极和物镜第三电极均处于地电位；第二装配面与第一装配面平行。本申请实施例能为物镜第一电极和物镜第二电极提供足够的爬电距离，使得整个物镜结构能够承受至少20kV的压差，从而降低双束电镜中离子束单元的击穿风险。

主权项：1.一种用于双束电镜的物镜结构，其特征在于，所述物镜结构应用于双束电镜中的离子束单元，所述物镜结构包括：物镜第一电极（101），其包括第一装配面和与所述第一装配面垂直相接的第一静电面，所述第一静电面为圆锥筒结构；物镜第二电极（102），其包括第二装配面和与所述第二装配面垂直相接的第二静电面，所述第二静电面为圆锥筒结构且与所述第一静电面同轴；物镜第三电极（103），其包括第三装配面和与所述第三装配面垂直相接的第三静电面，所述第三静电面为圆锥筒结构且与所述第一静电面和所述第二静电面均同轴；以及空心柱体104，其采用绝缘材料，其中所述空心柱体的轴线与所述物镜结构的轴线重合；其中，所述第一装配面、所述第二装配面和所述第三装配面沿所述物镜结构轴线的方向依次布置，所述第三装配面平行于所述第一装配面，且所述第三装配面与所述第一装配面装配在一起，从而使得所述物镜第一电极和所述物镜第三电极均处于地电位；所述第二装配面与所述第一装配面平行；其中，所述空心柱体的第一端面与所述第一装配面和所述第三装配面装配，所述空心柱体的第二端面与所述第二装配面装配；所述第一静电面穿过所述空心柱体的内部空腔，所述第二静电面从所述空心柱体的第二端面向远离所述空心柱体的方向延伸，所述第三静电面套设于所述空心柱体的外侧，并与所述空心柱体同轴。

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百度查询： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) 惠然科技有限公司 用于双束电镜的物镜结构及双束电镜