龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种硅晶片糙面减薄蚀刻液及其制备方法与应用，所述的硅晶片糙面减薄蚀刻液按照重量份计算，包括如下组分：硝酸15‑20份；纤维素类增稠剂1‑5份；酸性磷酸氟1‑5份；四氟硼酸盐1‑3份；超纯水20‑30份。本发明中纤维素类增稠剂使体系整体的粘稠度增加，有利于粗蚀刻；同时气泡生长并留在硅表面上，蚀刻液很难进一步接触硅，使得衬底上蚀刻速率分布不均匀，硅的表面变粗糙。酸性磷酸氟的加入可以增加蚀刻液的润湿性能、稳泡性能以及代替氢氟酸的多重效果。本发明采用纤维素类增稠剂、酸性磷酸氟和四氟硼酸盐的组合，能够显著提高蚀刻速率，改善蚀刻后硅表面粗糙度，避免了较高蚀刻速率下硅晶片表面的镜面化。
主权项：1.一种硅晶片糙面减薄蚀刻液，其特征在于，按照重量份计算，包括如下组分：
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种硅晶片糙面减薄蚀刻液及其制备方法与应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号