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一种性能可调的介电薄膜材料及其制备和应用 

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申请/专利权人:西安交通大学

摘要:本发明属于电容器材料技术领域,公开一种性能可调的介电薄膜材料及其制备和应用。所述介电薄膜材料以BaHf0.17Ti0.83O3为基质通过与HfxZr1‑xO2复合获得,其化学式为BaHf0.17Ti0.83O3‑0.25HfxZr1‑xO2;其中,x为Hf的掺杂浓度,且x的取值范围为0x1。本发明通过复合HfxZr1‑xO2以实现对BaHf0.17Ti0.83O3的极化调控作用,使介电薄膜材料内部晶界增多,阻碍电子传导,提高了击穿场强,增加薄膜的最大极化与剩余极化的差值,获得性能可调的介电薄膜材料,且获得的介电薄膜材料形成的薄膜电容器具备低的漏电流密度以及高的储能密度和储能效率。

主权项:1.一种性能可调的介电薄膜材料,其特征在于,通过以BaHf0.17Ti0.83O3为基质,与HfxZr1-xO2复合获得,其化学式为BaHf0.17Ti0.83O3-0.25HfxZr1-xO2;其中,x为Hf的掺杂浓度,且x的取值范围为0x1。

全文数据:

权利要求:

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