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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：所描述的实施方式提供了动态成像系统，所述动态成像系统补偿了由于基板的翘曲引起的变形而导致的图案缺陷。所描述的方法和设备可用于产生补偿曝光图案。动态成像系统包括检查系统，检查系统被配置为将第一基板的三维轮廓测量及裸片偏移测量提供给接口，所述接口被配置为向数字光刻系统提供补偿图案数据，数字光刻系统被配置为从接口接收补偿图案数据，并利用补偿图案曝光光刻胶。
主权项：1.一种创建补偿曝光图案的方法，包括以下步骤：将基板设置在动态成像系统的平台上，其中所述动态成像系统包括：平板，所述平板上方设置有所述平台；设置在所述平板上方的数字光刻系统；以及检查系统；在所述检查系统下方移动所述平台，以将所述基板的第一区域定位在所述检查系统下方；使用所述检查系统测量所述基板的所述第一区域的三维3D轮廓；使用所述检查系统测量在所述基板的所述第一区域中的至少一个裸片的裸片偏移；将所述3D轮廓的测量和所述裸片偏移的测量提供至所述动态成像系统的接口，其中分配器对所述3D轮廓的测量和所述裸片偏移的测量进行排序；在所述接口内确定用于所述基板的所述第一区域的补偿图案数据，其中所述补偿图案数据补偿所述基板上的翘曲和所述裸片偏移；以及使用所述数字光刻系统将所述基板的所述第一区域的一部分曝光至补偿图案，其中所述补偿图案是根据所述补偿图案数据确定的。
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