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申请/专利权人:江苏亿钶电子材料有限公司
摘要:本发明涉及一种硅片切割液的配方,所述硅片切割液配方主要由以下原料组成:黏度调节剂1‑10%;表面活性剂1‑15%;冷却剂5‑20%;抗氧化剂0.5‑1%;泡剂0.1‑4%;去离子水40‑80%。本发明通过优化黏度调节剂和表面活性剂,改善切割液的润滑性能和渗透性能,提高切割液的稳定性,减少摩擦和热量产生,避免跳线和断缝,降低切割损伤,有效提高切割效率。
主权项:1.一种硅片切割液的配方,其特征在于,所述硅片切割液配方主要由以下原料组成:
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百度查询: 江苏亿钶电子材料有限公司 一种硅片切割液配方及其制备方法
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