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申请/专利权人：浙江超晶晟锐光电有限公司
摘要：本发明涉及一种新型分体式液氮测试杜瓦，包括金属外壳，所述金属外壳内部固定设有液氮腔，所述液氮腔的上表面设有排气孔，所述排气孔的一侧，位于液氮腔的上表面设有真空阀门管道，所述金属外壳的外表面通过环氧胶固定连接引线插针，所述金属外壳下方通过螺纹连接下金属连接壳，本装置结构简单、实现方法简单、成本低廉、通用性强、工作效率高，在相同体积下液氮制冷时间内长，可满足长时间制冷需求，可一次准备多个红外焦平面探测器芯片样品，测试完成后快速实现冷头的更换杜瓦使用效率高，使键合次数从两次减少为一次，大大提高了工作效率，且使用液氮制冷，不会引入振动以及电磁干扰，测试精度高，结果稳定。
主权项：1.一种新型分体式液氮测试杜瓦，包括金属外壳1，其特征在于：所述金属外壳1内部固定设有液氮腔2，所述液氮腔2的上表面设有排气孔3，所述排气孔3的一侧，位于液氮腔2的上表面设有真空阀门管道4，所述金属外壳1的外表面通过环氧胶固定连接引线插针5，所述金属外壳1下方通过螺纹连接下金属连接壳6，所述下金属连接壳6下方固定设有窗座7，所述窗座7的侧表面上设有光学窗片8，所述液氮腔2下方，位于金属外壳1和下金属连接壳6内部设有分体冷头9；所述分体冷头9包括上分体冷头91和下分体冷头92，所述上分体冷头91的一端固定连接液氮腔2内部，所述上分体冷头91上设有锁紧螺丝，所述下分体冷头92通过锁紧螺丝固定连接上分体冷头91，所述上分体冷头91分为两个部分，一部分为位于上分体冷头91之间的连接冷头，一部分为连接冷头下方的承载样品台，所述承载样品台一侧开设插拔槽93，所述插拔槽93上设有插拔式样品台94，所述插拔式样品台94上设有芯片安装凹槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江超晶晟锐光电有限公司 一种新型分体式液氮测试杜瓦
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