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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及极紫外光刻技术领域，具体提供一种激光放大系统光束匹配方法及装置，在现有的激光放大系统基础上，在种子激光器与激光放大器间插入变曲率反射镜，并在激光放大器后插入空间光滤波器，空间光滤波器可有效阻断种子激光与激光放大器内壁相互作用产生的衍射杂散光的传输，利用激光功率计测量经空间光滤波器滤除杂散光后的净激光功率，并依据净激光功率反馈调整变曲率反射镜的曲率，以实现动态调控种子激光光束在激光放大器内的光束传输参数，解决了现阶段激光放大器因气体亚音速流场光折射率不均匀性、光功率非线性放大等因素导致的种子激光参数与激光放大器增益空间失匹配问题。
主权项：1.一种激光放大系统光束匹配方法，激光放大系统包括种子激光器和激光放大器，其特征在于，在所述种子激光器至所述激光放大器的光路上设置变曲率反射镜，在所述激光放大器的后续光路上设置空间光滤波器，所述空间光滤波器滤除由种子激光与所述激光放大器相互作用产生的衍射杂散光，测量经过所述空间光滤波器滤波后的种子激光的激光功率，根据所述激光功率反馈调整所述变曲率反射镜的曲率，实现所述激光放大系统的光束匹配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种激光放大系统光束匹配方法及装置
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