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申请/专利权人：国鲸合创(青岛)科技有限公司;国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明提供了有机电致发光材料风道蒸发芯片工艺，涉及半导体加工技术领域，包括以下步骤：通过拉瓦尔喷管喷出超音速气体；通过胶体输入管路喷出微射流胶体；超音速气体和微射流胶体经过混合喷管实现气液两相流混合;混合后的物料经喷头到OLED芯片表面，微射流胶体经气体蒸发后均匀分布在OLED芯片表面,胶体采用微射流后能够提高与超音速气体的混合效果，且微射流胶体相较于胶体换热效果好，解决了若胶体和气体混合效果差时，容易影响芯片表面胶体的均匀分布效果，且胶体换热效果差，容易导致蒸发效率降低的技术问题。
主权项：1.有机电致发光材料风道蒸发芯片工艺，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：通过拉瓦尔喷管（2）喷出超音速气体；步骤2：通过胶体输入管路（5）喷出微射流胶体；步骤3：超音速气体和微射流胶体经过混合喷管（3）实现气液两相流混合；步骤4：混合后的物料经喷头（4）到OLED芯片表面，微射流胶体经气体蒸发后均匀分布在OLED芯片表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国鲸合创(青岛)科技有限公司 国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司 有机电致发光材料风道蒸发芯片工艺
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