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申请/专利权人：山西中来光能电池科技有限公司
摘要：本发明提供了一种异质钝化隧穿氧化接触电池及其制备方法，其结构包括硅片衬底、正面金属电极以及背面金属电极，其特征在于，所述硅片衬底的正面由内至外依次设置有本征非晶硅层、硼掺杂非晶硅层和透明导电氧化物薄膜；所述硅片衬底的背面由内至外依次设置有隧穿氧化层、n型多晶硅层和氮化硅层。本发明采用TOPCon背面接触钝化方式与异质结方式相结合的电池结构，使制得的电池能够兼具两种电池的优势，最终背面氮化硅钝化膜并未因高低温烧结导致钝化膜性能变差，最终通过更好的钝化方式使得电池Voc有所提升，电池的最终效率提升0.15～0.2％左右。
主权项：1.一种异质钝化隧穿氧化接触电池，包括硅片衬底、正面金属电极以及背面金属电极，其特征在于，所述硅片衬底的正面由内至外依次设置有本征非晶硅层、硼掺杂非晶硅层和透明导电氧化物薄膜；所述硅片衬底的背面由内至外依次设置有隧穿氧化层、n型多晶硅层和氮化硅层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山西中来光能电池科技有限公司 一种异质钝化隧穿氧化接触电池及其制备方法
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