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一种银蚀刻液及其制备方法和应用 

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申请/专利权人:四川江化微电子材料有限公司

摘要:本申请涉及平板显示技术领域,提供了一种银蚀刻液及其制备方法和应用,银蚀刻液以所述银蚀刻液的总重量为100%计,包括如下重量百分含量的下列组分:无机酸7~9%、有机酸5~7%、有机螯合剂13~18.5%、螯合分散剂8~10%、酸式无机盐15~28%,余量为水。银蚀刻液粘度小,银蚀刻液中具有缓冲作用的组分占比高,蚀刻速率稳定,蚀刻出的效果更好,均一性更好;同时添加有机酸螯合剂和螯合剂分散剂,改善银离子吸附回粘等情况。

主权项:1.一种银蚀刻液,其特征在于,以所述银蚀刻液的总重量为100%计,包括如下重量百分含量的下列组分:无机酸7~9%、有机酸5~7%、有机螯合剂13~18.5%、螯合分散剂8~10%、酸式无机盐15~28%,余量为水。

全文数据:

权利要求:

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