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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明公开的等离子体处理装置中，高频电源在电偏置能量的偏置周期内调节高频电功率的频率。高频电源使用基本时间序列作为偏置周期内的高频电功率的频率的时间序列。高频电源以基于评价值改善匹配状态的方式，反复进行作为偏置周期内的高频电功率的频率的时间序列使用变更了的时间序列的处理。变更了的时间序列通过对基本时间序列施加相移量、使基本时间序列在频率方向缩放、或使基本时间序列的多个时间区间中的两个以上的时间区间在时间方向上缩放而得到。
主权项：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：腔室；设置在所述腔室内的基片支承部；高频电源，其构成为供给高频电功率以在所述腔室内从气体生成等离子体；偏置电源，其构成为向所述基片支承部供给电偏置能量，该电偏置能量具有以具有偏置频率的倒数的时间长度的周期反复的波形；传感器，其构成为获取关于所述高频电源与所述腔室之间的阻抗的匹配状态的至少一个参数；和控制部，所述控制部构成为执行：步骤a，获取基本时间序列作为所述周期内的所述高频电功率的频率的时间序列，所述基本时间序列是预先决定的频率的时间序列；步骤b，使所述高频电源执行所述基本时间序列；步骤c，在所述步骤b的期间从所述传感器获取所述至少一个参数；步骤d，基于所述步骤c中获取到的至少一个参数，在频率方向或者时间方向上调整所述基本时间序列；步骤e，使所述高频电源执行所述步骤d中被调整了的时间序列；步骤f，在所述步骤e的期间从所述传感器获取所述至少一个参数；步骤g，基于所述步骤f中获取到的至少一个参数，在频率方向或者时间方向上调整当前的时间序列，所述当前的时间序列是从所述基本时间序列进行了多次调整的时间序列；步骤h，使所述高频电源执行所述步骤g中被调整了的时间序列；和步骤i，反复进行所述步骤f～所述步骤h。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 等离子体处理装置和电源系统
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