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申请/专利权人：上海索迪龙自动化股份有限公司
摘要：本申请公开了一种基于中阶梯光栅的紧凑型激光三角位移传感器系统，包括：设置于壳体内的激光管、发射透镜、光阑、接收透镜、滤光片、中阶梯光栅、聚焦透镜和接收器；所述激光管射出的激光依次经所述发射透镜、所述光阑至检测件，并由所述检测件依次反射经所述接收透镜、所述滤光片、所述中阶梯光栅、所述聚焦透镜至所述接收器。本申请根据衍射光斑的位置可以获得多个测量结果，从而提高非线性精度以及重复精度。另外，中阶梯光栅是以增大闪耀角来实现高分辨率和高色散率，有利于提高对获取多个测量结果的精确度，从而提高测量精度。并且，由于本申请采用中阶梯光栅对光路进行了折叠，能实现紧凑型设计。
主权项：1.一种基于中阶梯光栅的紧凑型激光三角位移传感器系统，其特征在于，包括：设置于壳体内的激光管、发射透镜、光阑、接收透镜、滤光片、中阶梯光栅、聚焦透镜和接收器；所述激光管射出的激光依次经所述发射透镜、所述光阑至检测件，并由所述检测件依次反射经所述接收透镜、所述滤光片、所述中阶梯光栅、所述聚焦透镜至所述接收器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海索迪龙自动化股份有限公司 一种基于中阶梯光栅的紧凑型激光三角位移传感器系统
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