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申请/专利权人：苏州大学
摘要：本发明提出了一种基于液态金属微通道的超薄电子皮肤及其制备方法，包括：根据预设的微通道尺寸要求，利用软光刻工艺制备柔性微通道薄膜；利用聚二甲基硅氧烷浇筑制备柔性上基板薄膜；对柔性上基板薄膜和柔性微通道薄膜进行等离子键合，得到带有微通道的弹性基底；将带有微通道的弹性基底与FPC软排线的一面连接，并在FPC软排线的另一面形成柔性下基板薄膜，得到薄膜结构；通过预留的注入口向薄膜结构的微通道中注射液态金属，形成液态金属微通道电极；利用封装薄膜覆盖注入口，得到基于液态金属微通道的超薄电子皮肤。本发明能够降低柔性压力传感器的厚度，超薄电子皮肤更加小巧轻便，且制备工艺简单高效。
主权项：1.一种基于液态金属微通道的超薄电子皮肤，其特征在于，包括柔性微通道薄膜、柔性上基板薄膜、柔性下基板薄膜、液态金属微通道电极、封装薄膜和FPC软排线，其中，所述柔性微通道薄膜的一面与所述柔性上基板薄膜的一面通过等离子键合在一起，两者之间形成微通道，在所述柔性微通道薄膜与所述柔性上基板薄膜的同一端设置有注入口，所述注入口连接所述微通道，所述液态金属微通道电极通过所述注入口注入所述微通道内，所述FPC软排线设置在所述柔性上基板薄膜的另一面与所述柔性下基板薄膜的一面之间，且所述FPC软排线的一端通过未凝固的PDMS硅胶材料黏附在所述柔性上基板薄膜的注入口处，所述封装薄膜封装在所述柔性微通道薄膜的注入口上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州大学 一种基于液态金属微通道的超薄电子皮肤及其制备方法
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