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申请/专利权人：浙江晶睿电子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆平整度的检测装置及方法，包括箱体，所述箱体的内部底端安装有斜台，所述箱体的前侧铰接有箱门，所述箱体的内部后侧固定连接有两组固定块，两组所述固定块之间转动连接有转动板，所述箱体的内部顶端通过安装有升降机构与升降板连接，所述升降板的下方设置有检测头。本发明设置有升降机构，从而改变了检测头的高度，其次在平整度检测结束后，通过启动驱动电机的输出端带动其中一组齿轮转动，使得两组第一丝杆同步转动，带动两组活动座同步运动，两组连接臂同步转动，带动转动板转动，使得转动板的前侧倾斜向下，使得检测结束后的晶圆掉落在箱体的内部底端，最后通过斜台滑落至收集箱的内部进行收集。
主权项：1.一种晶圆平整度的检测装置，其特征在于，包括箱体1，所述箱体1的内部底端安装有斜台102，所述箱体1的前侧铰接有箱门101，所述箱体1的内部后侧固定连接有两组固定块103，两组所述固定块103之间转动连接有转动板104，所述箱体1的内部顶端通过安装有升降机构2与升降板105连接，所述升降板105的下方设置有检测头306，且所述升降板105的底端中部通过安装有移动机构3与检测头306连接，且所述转动板104的顶部设置有夹持机构，所述箱体1的右侧固定安装有收集箱121。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶睿电子科技有限公司 一种晶圆平整度的检测装置及方法
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