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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：本发明的致动器装置包括第1可动部、第2可动部、磁铁部、线圈、以及控制部，该控制部将用于共振驱动第1可动部的第1驱动信号和用于非共振驱动第2可动部的第2驱动信号供给至线圈。异常检测方法包括：控制部将第2驱动信号供给至线圈的步骤；在将第2驱动信号供给至线圈的状态下获取与线圈中产生的反电动势对应的输出值的步骤；以及基于供给至线圈的第2驱动信号和获取的输出值判定第2可动部的倾斜状态中是否产生了异常的步骤。
主权项：1.一种异常检测方法，其中，所述异常检测方法是检测致动器装置的异常的异常检测方法，所述致动器装置具备：支撑部；第1可动部；第2可动部，其以包围所述第1可动部的方式配置；第1连结部，其以所述第1可动部能够绕第1轴线摆动的方式，将所述第1可动部连结于所述第2可动部；第2连结部，其以所述第2可动部能够绕与所述第1轴线交叉的第2轴线摆动的方式，将所述第2可动部连结于所述支撑部；检测用线圈，其配置于所述第2可动部；磁铁部，其产生作用于所述检测用线圈的磁场；驱动部，其驱动所述第1可动部和所述第2可动部；以及控制部，其将用于共振驱动所述第1可动部的第1驱动信号、以及用于非共振驱动所述第2可动部的第2驱动信号供给至所述驱动部，所述异常检测方法包括：供给步骤，所述控制部将所述第2驱动信号供给至所述驱动部；获取步骤，在通过所述供给步骤将所述第2驱动信号供给至所述驱动部的状态下，获取与在所述检测用线圈中产生的反电动势对应的输出值；以及判定步骤，基于在所述供给步骤中供给至所述驱动部的所述第2驱动信号、以及在所述获取步骤中获取的所述输出值，判定所述第2可动部的倾斜状态中是否产生了异常。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 异常检测方法及致动器装置
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