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申请/专利权人：青岛华芯晶电科技有限公司

摘要：本发明公开了用于蓝宝石衬底表面清洗装置及其清洗方法，涉及清洗装置技术领域，为解决现有的清洗装置仅仅只能清洗少量的蓝宝石衬底，且清洗过程中的取放料较为不便，造成蓝宝石衬底清洗效率较低的问题，包括装置架台，装置架台的内部一体成型设置有集水筒，装置架台的上端设置有清洗框架，清洗框架一侧外壁上设置有超声频电源，清洗框架的内部设置有清洗仓，集水筒的一侧设置有回流抽泵；还包括：活动载座，其设置在所述清洗仓的上方位置上，且活动载座的内部设置有内圆槽，内圆槽的内部设置有四个限位滑槽和透水孔，透水孔和限位滑槽均与内圆槽为一体结构，四个限位滑槽的上方均设置有卡夹棒。

主权项：1.用于蓝宝石衬底表面清洗装置，包括装置架台（1），装置架台（1）的内部一体成型设置有集水筒（4），装置架台（1）的上端设置有清洗框架（2），清洗框架（2）一侧外壁上设置有超声频电源（14），清洗框架（2）的内部设置有清洗仓（3），集水筒（4）的一侧设置有回流抽泵（12）；其特征在于：还包括：活动载座（5），其设置在所述清洗仓（3）的上方位置上，且活动载座（5）的内部设置有内圆槽（6），内圆槽（6）的内部设置有四个限位滑槽（24）和透水孔（23），透水孔（23）和限位滑槽（24）均与内圆槽（6）为一体结构，四个限位滑槽（24）的上方均设置有卡夹棒（7）；导向穿孔（15），其设置在所述集水筒（4）的顶部位置上，且导向穿孔（15）的内部穿接设置有升降立杆（8），升降立杆（8）的底部一体成型设置有浮球（17），升降立杆（8）的顶部外壁上设置有传动连杆（9），传动连杆（9）的两端分别与升降立杆（8）和活动载座（5）焊接连接；延长棒（30），其安装在所述卡夹棒（7）的上端位置上，且延长棒（30）和卡夹棒（7）的内壁上均一体成型设置有衬底卡槽（31），卡夹棒（7）的底部一体成型设置有防脱滑块（26），卡夹棒（7）通过防脱滑块（26）与限位滑槽（24）导向活动连接；底插槽（18），其一体成型设置在所述活动载座（5）的底部位置上，且底插槽（18）的内部插装设置有内接插板（19），内接插板（19）的内部设置有嵌入式内槽（20），嵌入式内槽（20）的内部通过免钉胶固定设置有电热板（21），电热板（21）的接电端上设置有接电线（22）。

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